| 제목 | 등록특허 [등록특허] 고체 확산법을 이용한 CIG 박막의 셀렌화 및 황산화 방법 |
|---|---|
| 출원번호 | 제 10-1317834 호 |
| 출원인 | 이철로, 라용호 |
| 출원일 | 2011. 4. 7. |
Semiconductor Materials & Process Laboratory
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