| Title | The effect of Hydroxy Ethyl Cellulose(HEC) and Chloride ions on the surface morphology and mechanical characteristics during copper electrodeposition |
|---|---|
| Publication year | 2007 |
| Author | Tae-Gyu Woo, II-Song Park, Hyun-Woo Lee, Kyeog-Won Seol and Cheul-Ro Lee |
| Journal | Materials Transactions (IF: 1.389) |
| JCR factor | 62.5 % |
| Vol | Vol.48, pp.1913-1918 |
| DOI | https://doi.org/10.2320/matertrans.MRA2006326 |
Semiconductor Materials & Process Laboratory
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