| Title | Simulation of growth rate and deposition profile on the periodically patterned substrate |
|---|---|
| Publication year | 2007 |
| Author | Byung-Jun Baek, Sung-Ju Kang, Jin-Taek Kim, Bockchoon Pak and Cheul-Ro Lee |
| Journal | Journal of Crystal Growth (IF: 1.797) |
| JCR factor | 49.70 % |
| Vol | Vol.304, pp.211-218 |
| DOI | https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2007.01.036 |
Semiconductor Materials & Process Laboratory
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